硅片四探針電導(dǎo)率測(cè)試儀操作方法

 電阻率所針對(duì)的對(duì)象是導(dǎo)電或電阻材料，一般是通過(guò)測(cè)定特定形狀的材料電阻

值后計(jì)算得出。對(duì)于功能器件一般只測(cè)量其電阻值。而環(huán)境（溫度、濕度、氣氛）

或材料狀態(tài)對(duì)電阻或電阻率的影響測(cè)量則一般是將材料或器件放于特定的環(huán)境之

中，通過(guò)改變環(huán)境參數(shù)測(cè)定電阻或電阻率的變化。上述所有操作歸結(jié)為一點(diǎn)，即電

阻的測(cè)量。由于目前還沒(méi)有不使用電而間接測(cè)量電阻的方法，因此電阻與其它

物理參數(shù)測(cè)量相比的zui突出特點(diǎn)是必須將被測(cè)材料或器件連接在電路之中，電路之

中的導(dǎo)線、導(dǎo)線接頭或器件觸點(diǎn)接觸電阻、測(cè)量?jī)x表的內(nèi)阻以及與被測(cè)電阻間的連

接關(guān)系，阻值比例等多種因素都會(huì)對(duì)影響測(cè)量結(jié)果的度。在許多情況下，測(cè)量

誤差是不可忽略的。

硅片四探針電導(dǎo)率測(cè)試儀操作方法

1.方塊電阻范圍：10^-3～2×10³Ω/□

2.電阻率范圍：10^-4～2×10⁴Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.3%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.5%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 普通單電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10.選購(gòu)功能: 選購(gòu)1.pc軟件； 選購(gòu)2.方形探頭； 選購(gòu)3.直線形探頭； 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)

11.測(cè)試探頭：   探針間距選購(gòu)：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).